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英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

更新時間:2024-04-18      瀏覽次數(shù):292

英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

露點變送器 - Michell Pura

高純氣體露點變送器

特點

測量范圍低可達 -120°Cdp (1ppbV)

穩(wěn)定而可重復的測量

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡單

VCR 過程連接

可選的顯示/報警單元

設計緊湊

快速響應

可選危險區(qū)域認證

校準更換服務


image.png

這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,用來測量高純氣體中的微量水分含量。

Pura使用和安裝簡單,可選兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號,是一款完的全可自定義的產(chǎn)品,可以滿足各種特殊需求。

規(guī)格

傳感器

 

傳感器類型

密析爾先進的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器

量程

-120 - -40°Cdp (校準范圍 -100 - -40°C)

精度

±1°C -40 ~ -60°Cdp
±2°C -60 ~ -100°Cdp
±4°C -100 ~ -120°Cdp (估計)

工作壓力

最小 10-7 Pa (10-9 torr)
最大 24 MPa (240 barg)

工作溫度

-40 ~ +60°C

流量速率

1 ~ 5 Nl/min

電氣

 

電源

標稱電壓 24 V DC, 10-28 V DC 最大電流 25 mA 2或3線制配置

輸出

PUR-TX-2W: 4 ~ 20mA 2線制
PUR-TX-3W: 4~ 20mA 3線制
PUR-AOL-SEN : 數(shù)字 (RS485)

顯示電纜

PUR-OL & PUR-IS-OL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)
PUR-AOL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)

機械l

 

傳感器模塊

高級版 OEM 版: 冷拔不銹鋼, 0.1 - 0.2 Ra µm 內部電拋光

壓力連接

高級版和 OEM 版: ¼" VCR 公頭連接
Pura 傳感器: ½" VCR 公頭連接

安裝配置

高級和 OEM 版: 120mm 間距, 通過氣體端口密封
管道要求零間隙
2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 對角線 20 x 20mm 間隙
Pura 傳感器: 適合 ½" VCR 接口

外形尺寸

高級版和 OEM 版: 120 x 35 x 150mm (w x d x h)
Pura 傳感器: 132 x Ø35mm

重量

高級版和 OEM 版: 450g
Pura 傳感器: 180g

包裝

Pura 高級版: 雙層包裝和 UHP 惰性氣體密封
Pura OEM & Pura 傳感器: 單層包裝與 1000 gauge聚乙烯
所有選項: 單獨裝運,有海綿和紙箱保護
Pura傳感器表面有防護罩來防止運輸和裝卸時的損壞

更換服務

可用Pura 傳感器 (SEN) ½" VCR 連接

顯示

高級版在線顯示: PUR-AOL

在線顯示: PUR-OL

測量單位

°F, °Cdp; ppmV 和 ppbV 用戶可選量程和分辨率

由兩線制傳感器輸入定義的簡單顯示

二次測量變量

通過外部傳感器的壓力 0-30 MPa (300 variable barg)
用戶可以完的全自定義任何行業(yè)標準傳感器
自動補償 ppmV 和 ppbV

PUR-TX-2W & PUR-IS-2W 沒有管線壓力校正輸入 ppmV

電源

通用 85 ~ 265 V AC; 95 ~ 370 V DC

100~ 240 V AC (+10, -15%) 50/60 Hz

防護等級

IP54 (NEMA 12); IP66 (NEMA 4X) 僅適用于帶可選蓋的前面板

IP65 前面板 (IP20 后面板)

工作溫度

0 ~ +50°C

0 ~ +50°C

繼電器

2 個 10 A / 240 V c/o 用戶可完的全配置: 可適應所選設備的所有量程 + 傳感器故障報警功能

報警 1 繼電器: 單級接觸, 額定 3 A @ 250 V AC
報警 2 繼電器: 轉換觸點, 額定 5 A @ 250 V AC

顯示分辨率

5 位

4 位

輸出: 模擬

4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

0-20 或 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

輸出: 數(shù)字

RS232: 提供雙通道通信 -用戶可完的全數(shù)字訪問和所有設置選項的可用性

RS232: 提供雙通道通信 - 用戶可完的全數(shù)字訪問和所有設置選項的可用性

選項

 

 

電源

18 ~ 36 V AC; 9 ~ 60 V DC

24 V DC

繼電器

1 或 2 路 5 A 繼電器 (最多 4 路) n/o 類型用戶可完的全自定義: 可適應所有量程 + 全部設備可選 + 傳感器故障報警功能

1 路繼電器可選 - 參考工廠

輸出: 模擬

0-10 V 用戶可完的全自定義和可擴展量程

0 ~ 10 V 輸出 采用 500 Ω 并聯(lián)電阻

輸出: 數(shù)字

RS485

 

 

 

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