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ulvac-kiko濺射設(shè)備 主泵 油霧捕集器 離子濺射儀

ulvac-kiko濺射設(shè)備 主泵 油霧捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
將架臺上的油擴(kuò)散泵,油回轉(zhuǎn)泵,皮拉尼真空計,閥門配管,電氣系統(tǒng),壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的,配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

  • 產(chǎn)品型號:VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-11
  • 訪  問  量:456
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ulvac-kiko濺射設(shè)備 主泵 油霧捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

ulvac-kiko濺射設(shè)備 主泵 油霧捕集器VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)



將架臺上的油擴(kuò)散泵,油回轉(zhuǎn)泵,皮拉尼真空計,閥門配管,電氣系統(tǒng),壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的,配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。

適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。


特點(diǎn)

  • 玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部,有良好的操作性。

  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

  • 通過追加蒸發(fā)電源和電極,可同時蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。

  • 更改為EB規(guī)格,可成膜高熔點(diǎn)的材料。

  • 蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪,移動更為容易。

  • 帶有調(diào)節(jié)器,可確保設(shè)置的安全性。

規(guī)格

型式VPC-1100
真空性能極限壓力4.0×10-4Pa
1.3×10-4Pa(液體氮?dú)馐褂脮r)
排氣時間4.0×10-3Pa/10min
10-4Pa臺/10min(液體氮?dú)馐褂脮r)
真空槽真空槽玻璃鐘罩(內(nèi)徑Φ390mm×高350mm)
饋通圈20端口(側(cè)面14/底面6)
基板推薦尺寸?最大尺寸□50mm ? □220mm(Max)
電源系統(tǒng)蒸發(fā)電極構(gòu)成3點(diǎn)式
蒸發(fā)電源?數(shù)量SEREM PSE-150C?1 式
0~10V 150A(Max)
排氣系統(tǒng)主泵油擴(kuò)散泵(水冷) 1100L/sec
液體氮?dú)獠都?/span>
補(bǔ)助泵油回轉(zhuǎn)泵 200L/min、2臺
油霧捕集器選項(xiàng)
操作系統(tǒng)主閥蝶閥
補(bǔ)助閥三通閥
自動泄露閥選項(xiàng)
操作手動
控制系統(tǒng)皮拉尼真空計GP-1G
電離真空計選項(xiàng)
設(shè)置最大尺寸  本體1235mm(W)×836mm(D)×2155mm(H)
      電源設(shè)備本體收納







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